加工精度概念

作者:xingyang                         时间：2010-12-02

轴承及轴承相关技术文章（轴承型号查询网提供） 关键字：轴承,真空镀 　　一、温度控制需求　　温度是所有化学反应重要参数，尤其在反应式镀膜、光学度膜、温度控制、其重要性，更是手屈一指。　　依实际制程需求，有著不同范围与精度之控制方式之进度，因CPU之进步，使得温度控制器，已完全进入 。　　计算机化时代，于PVD设备中温度控制应用及要求如下:　　温度控制需求精度应用控制所需功能　　60~80℃＋-5%塑料基材除水气　　腔体除水1. 多点设定启动　　2. Autotuning　　180~250℃＋-5%金属基材除水气　　膜质改善1. 多点设定启动　　2. Autotuning　　3. 多段控制　　250~380℃＋-3%光学玻璃基材镀膜1. 多点设定启动　　2. Autotuning　　3. Remote D/A , A/D　　4. 多段控制　　400~750℃＋-1%反应式镀膜1. 多点设定启动　　2. Autotuning　　3. Remote D/A , A/D　　4. 多段控制　　二、控制对象的特性　　要良好的温度控制，在选择系统元件及控制方式必须先充分了解控制对象特性。　　三、温度控制系统组成　　四、温度控制系统元件及功用　　元件功用　　加热器(IR、Micro Heater)加热源　　测温器(热电偶)Thermal couple回馈加热器温度　　操作器(SCR或SSR)电力调整　　温度控制器设定及显示与控制　　五、温度控制种类　　控制加热器之方法有　　1. ON,OFF方式:以Relay半导体功率元件组成　　2. PID式:以TRAIC或SCR组成　　3.分段式:将电力功率以步进方式控制　　六、PID温度控制之原理　　PID控制方式是目前真空镀膜设备最常用方式，其控制原理，就像人用手控制调整瓦斯炉火一样，看到温度升高快，就赶快减少火力，随著修正火力以保持所需温度。　　所谓PID就是由P(误差之比例宽度)I(积分)D(微分)三项控制器组成。　　1.Proportional Bamd:P　　以设定点为中心，建立正、负范围的温度带，在该温度带中，以增加或减少供热原来改变温度，使供应热源维持在所需范围内，其功用可降低系统时间数及被控制物的静态增益。　　例如: 　　当P设定→2.5%，设定温度200℃，温度控制范围=200℃×2.5%=5℃　　若温度为202℃时，则温控器调节Power输出=50%-50%×2/5=30%　　若温度为199℃时，则温控器调节Power输出=50%＋50%×1/5=60%　　2.Integral:I　　I功能是对误差取关于时间的积分，随时间增加，积分项会增大，而使控制器输出增大，进而使误差降至零。　　当P=2.5，设定温度200℃，I=1　　若温度为202℃时，则温控器调节Power输出=1%/℃×2℃=2%　　Power=50%-2%=48%既以每分钟降2% Power电力　　3.Derivative=D　　此功能主要是改善元件之反应滞后特性　　利用预测误差变化率，以避免过冲现象发生，主要功能是快速改善外扰的回应。　　当P设定5，温度设定200℃I=1.0 D设定2时　　当温度=202℃时，PI控制方式以2%/分Power下降，而PD控制方式，则以2%/分×2分=4%power下降。　　七、结语　　PID温控方式已广泛在真空设备应用多年，随著设备对精度及稳定性要求日精，传统PID缺陷也日益显现，主要问题是PID参数设定值在整个控制过程都是固定不变，造成外乱应答及目标值应答难以兼顾，因此智能PID控制就应用而出。　　智能PID控制就是导入专家系统、Fuzzy控制、神经网络技术，使控制器有自适应，PID参数不依赖数学模型而可实时的在线调整，对系统参数变化有较好的坚固耐用性。【MechNet】

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