真空镀膜温度控制

作者:xingyang                         时间：2010-12-02

轴承及轴承相关技术文章（轴承型号查询网提供） 关键字：轴承,真空镀膜 一、温度控制需求 温度是所有化学反应重要参数，尤其在反应式镀膜、光学度膜、温度控制、其重要性，更是手屈一指。依实际制程需求，有著不同范围与精度之控制方式之进度，因CPU之进步，使得温度控制器，已完全进入 。计算机化时代，于PVD设备中温度控制应用及要求如下:温度控制需求精度应用控制所需功能60~80℃＋－5%塑料基材除水气腔体除水1. 多点设定启动2. Autotuning180~250℃＋－5%金属基材除水气膜质改善1. 多点设定启动2. Autotuning3. 多段控制250~380℃＋－3%光学玻璃基材镀膜1. 多点设定启动2. Autotuning3. Remote D/A , A/D4. 多段控制400~750℃＋－1%反应式镀膜1. 多点设定启动2. Autotuning3. Remote D/A , A/D4. 多段控制二、控制对象的特性要良好的温度控制，在选择系统元件及控制方式必须先充分了解控制对象特性。[img]http://www.jinkouzc.com/090302004499983.bmp[/img]三、温度控制系统组成[img]http://www.jinkouzc.com/090302005039574.bmp[/img]四、温度控制系统元件及功用元件功用加热器（IR、Micro Heater）加热源测温器（热电偶）Thermal couple回馈加热器温度操作器（SCR或SSR）电力调整温度控制器设定及显示与控制五、温度控制种类控制加热器之方法有1. ON,OFF方式:以Relay半导体功率元件组成2. PID式:以TRAIC或SCR组成3. 分段式:将电力功率以步进方式控制六、PID温度控制之原理PID控制方式是目前真空镀膜设备最常用方式，其控制原理，就像人用手控制调整瓦斯炉火一样，看到温度升高快，就赶快减少火力，随著修正火力以保持所需温度。所谓PID就是由P（误差之比例宽度）I（积分）D （微分）三项控制器组成。1.Proportional Bamd:P以设定点为中心，建立正、负范围的温度带，在该温度带中，以增加或减少供热原来改变温度，使供应热源维持在所需范围内，其功用可降低系统时间数及被控制物的静态增益。例如: 当P设定→2.5％，设定温度200℃，温度控制范围=200℃×2.5%=5℃若温度为202℃时，则温控器调节Power输出=50%-50%×2/5=30%若温度为199℃时，则温控器调节Power输出=50%＋50%×1/5=60% 2.Integral:II功能是对误差取关于时间的积分，随时间增加，积分项会增大，而使控制器输出增大，进而使误差降至零。例如：[img]http://www.jinkouzc.com/090302005164177.bmp[/img]当P=2.5，设定温度200℃，I=1若温度为202℃时，则温控器调节Power输出=1%/℃×2℃=2%Power=50%-2%=48%既以每分钟降2% Power电力 3.Derivative=D此功能主要是改善元件之反应滞后特性利用预测误差变化率，以避免过冲现象发生，主要功能是快速改善外扰的回应。当P 设定5，温度设定200℃ I=1.0 D设定2时当温度=202℃时，PI控制方式以2%/分Power下降，而PD控制方式，则以2%/分×2分=4%power下降。七、结语PID温控方式已广泛在真空设备应用多年，随著设备对精度及稳定性要求日精，传统PID缺陷也日益显现，主要问题是PID参数设定值在整个控制过程都是固定不变，造成外乱应答及目标值应答难以兼顾，因此智能PID控制就应用而出。智能PID控制就是导入专家系统、Fuzzy控制、神经网络技术，使控制器有自适应，PID参数不依赖数学模型而可实时的在线调整，对系统参数变化有较好的坚固耐用性。【MechNet】

上一篇：机床零件磷化处理的研究

下一篇：永磁同步电动机无位置传感器控制的实现